西德Lambda Physik公司的一种XeGl准分子激光器，在激光脉冲发射超过1010次时仍无需更换闸流管、电极、电容器和电源，超过以前的寿命试验结果。公司使用的试验激光器，放电装置经过改进。对这种10 W、750 Hz器件的数据分析表明，无故障寿命平均为232小时。