“准分子激光器”这个术语，并不是表示单一的器件，而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在几ns或几十ns时间内发射紫外或近紫外波长范围的强激光脉冲。商业准分子激光器通常能以不词混合气体运转，能产生多种不同波长的输出。这是一种相当先进的技术，而且，商业准分子激光器件还在不断发展中。