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模拟技术中的多种激光器在半导体行业中的设计和应用
半导体制造业发展迅速,"绿色"技术无疑具有光明的未来,这就要求有新的激光加工工艺与技术来获得更高的生产品质、成品率和产量。除了激光系统的不断发展,新的加工技术和应用、光束传输与光学系统的改进、激光光束与材料之间相互作用的新研究,都是保持绿色技术革新继续前进所必须的。下文围绕紫外DPSS激光器、准分子激光器、光纤激光器在半导体行业中的加工应用,展开论述。 紫外DPSS激光器在LED晶圆划片中的应用 DPSS是全固态半导体激光器的简称。窄脉宽、短波长紫外二极管泵浦固体激光器(DPSS)的最新
所属分类:
其它
发布日期:2020-10-22
文件大小:154624
提供者:
weixin_38722944
嵌入式系统/ARM技术中的基于S3C44B0的布拉格光纤光栅传感信号处理系统的设计与实现
1 引言 伴随着微电子的发展,用于嵌入式设备的处理器速度越来越快,功能也越来越强大。三星公司生产的S3C44B0微处理器,采用的是ARM7TDMI内核。该内核因为有着功耗小、成本低等特点,因此非常适合作为移动手持终端的处理器核心。 布拉格光纤光栅是一种利用准分子激光等方法光纤中加工有序光栅,布拉格光纤光栅可以改变光光纤中传播性质,阻止特定波长光传播,并将其反射回来。布拉格光纤光栅传感器就是利用布拉格光纤光栅这一性质设计各种物理量传感器,如应变、压力、温度等,检测这些传感器反射光波长变
所属分类:
其它
发布日期:2020-11-02
文件大小:183296
提供者:
weixin_38684335
[推荐]纳米图形转印技术
摘要: 通过1:1模版,纳米图形转印技术(NIL)也许可以使光刻工程师采用更加简单的方法进行10nm以下图形的转移。尽管NIL正逐步从研究所走向工业应用,但是目前仍然处于发展初期,需要进一步证明其用于大批量生产的可能性。 没有人会否认随着半导体技术的发展,光刻变得越来越复杂了。过去,人们普遍认为光刻最小特征尺寸不可能小于曝光所用波长。现在的情况却完全相反。最先进的光刻设备可以用193nm准分子激光为光源生产90nm芯片。在浸入式光刻技术的帮助下,预计193nm光刻设备还可以用于65nm甚
所属分类:
其它
发布日期:2020-12-10
文件大小:133120
提供者:
weixin_38750829
脉冲激光消融碳等离子体动力学研究
采用时空分辨的光学发射谱技术研究了脉冲XeCl准分子激光消融碳靶等离子体的光辐射特性,结果表明等离子体形成初期发光主要为连续辐射,主要出现在激光主脉宽内近靶区,约20ns后出现碎片的线状光谱,诸碎片发光具有不同时间行为。由此研究了等离子体时空特性及等离子体内碎片反应的物理机制,讨论了激光等离子体产生与发展的动力学过程。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-25
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38627521
准分子激光用于徼如土
在各种不同的激光中,Nd:YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近,由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半导体、医学、微电子工业在内的许多工业领域的一系列材料加工应用。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-25
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38602098
准分子激光技术发展
介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制技术和激光电源技术等。分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-11
文件大小:7340032
提供者:
weixin_38717579
利用SBS相位共轭技术改善固体激光和准分子激光光束质量研究的进展
介绍利用受激布里渊散射 (SBS)相位共轭技术改善固体激光和准分子激光光束质量研究的进展 ,特别介绍近几年来在 SBS介质、压缩脉宽和高能量高功率激光系统研究方面取得的一些新成果 ,并指出其未来发展方向。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-11
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38617413
准分子激光器
准分子激光器发展面临的主要任务是提高输出能量(或者,在激光核聚变的情况是提高峰值功率)和改进光束质量。新近为了达到这些目标而发展的一个方法是使用X光预电离拉长放电激励脉冲宽度。对于需要较短脉宽的核聚变,正在设计压缩脉宽的几种新技术。对其他应用,则通过在准分子激光介质中放大倍频和三倍频染料激光达到紫外窄带宽高能输出。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-08
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38570278
准分子激光的新进展
七十年代中期,准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标,使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来,准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时,继续发展新的泵浦技术和新的体系,并用准分子激光器作为泵浦源产生新的激光辐射。本文就以上几个方面综述最近的进展。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-08
文件大小:2097152
提供者:
weixin_38654348
准分子激光器现况
“准分子激光器”这个术语,并不是表示单一的器件,而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在几ns或几十ns时间内发射紫外或近紫外波长范围的强激光脉冲。商业准分子激光器通常能以不词混合气体运转,能产生多种不同波长的输出。这是一种相当先进的技术,而且,商业准分子激光器件还在不断发展中。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-08
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38738977
准分子激光器的应用
1975年首次演示稀有气体卤化物准分子激光器以来,这种激光器已被热情地誉为新一代紫外激光器,一次紫外革命,是气体激光器的一匹新骏马。与以前发展的激光器相比较,由于设计上与其他放电激光器基本相同以及明显的商业应用潜力,准分子激光技术已取得惊人的进展。自从放电准分子激光器问世以来的五年中,实验演示已达到了焦耳级脉冲能量,平均输出功率为860瓦。
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-05
文件大小:3145728
提供者:
weixin_38546308