采用准分子脉冲激光沉积法(PLD)分别在Pt/Ti/SiO2/Si和SiO2/Si衬底上制备了ZrO2薄膜，采用扩展电阻法（SRP）研究了薄膜纵向电阻分布；采用X射线衍射法（XRD）研究了衬底温度对ZrO2薄膜结晶性能的影响；精确测试了薄膜的表面粗糙度；讨论了薄膜结晶性能与其电学I-V特性之间的关系。