设计并制造了氮氧化硅（SiO（x）N（y），SiON）光波导环形谐振器，其中使用双模干涉仪代替常规环形谐振器中的定向耦合器。初步结果显示，对于横向电（TE）模式和横向磁（TM）模式，分别在1550nm处具有相同的100 GHz自由光谱范围，但质量因数不同，分别为3700和3900。在整个C波段上，消光比大于18 dB，对于TE和TM模式，插入损耗小于9.5 dB。