本文提出了一种基于热膨胀流原理的微加工流体集成式减小惯性测量单元。 所提出的多轴气体传感器可以使用一个腔室同时检测单轴角速率和双轴加速度。 已经证明了较大的测量范围，例如Z轴陀螺仪在±2160°/ s的输入范围内可以实现0.548 mV /°/ s的灵敏度，并且非线性度小于3.87％。