微电子系统（MEMS）技术以微观尺度融合电气和机械系统，彻底改变了惯性传感器。自1991年Draper实验室首次对微机械陀螺仪进行演示以来，已经有了在表面微机械加工微机械加工，混合表面 - 体粒加工技术或替代制造技术中制造的各种微机械陀螺仪设计。受到同一时代微机械加速度计取得巨大成功的启发，广泛研究商用微机械陀螺的研究工作引领了一些创新的陀螺仪拓扑，制造和集成方法以及检测技术。因此，在各种基于微机械加工的批量制造工艺中，已经有效地实施并演示了利用振动元件进行试验并检测科里奥利力的振动微机械陀螺

表面微加工是一种用来构建硅机电结构的技术。 结合板载信号调理电路，可将完整的机电系统经济高效地构建在单个硅片上。 用于汽车安全气囊的加速度计是第一款成功商用的表面微加工传感器。 此后，人们往各个领域进行了探索。