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  1. 利用Mirau型相关显微镜进行面型检测的研究

  2. 在Mirau型干涉仪的基础上,利用相关检测的原理,实现了Mirau型相关面型检测仪。通过该面型检测技术,克服了移相显微干涉(PSMI)面型检测系统中纵向分辨能力受衍射效应制约这一限制,正确测量了面型的纵向尺度。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：917504
    • 提供者：weixin_38695061