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  1. 半导体激光化学刻蚀溶液浓度的电流变化选择法

  2. 提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法——利用腐蚀电流特性和腐蚀图像均匀度相结合的方法，选择出适合的腐蚀溶液。该方法可以提高激光液相腐蚀的性能，解决腐蚀溶液选择的诸多难题，在特殊结构光电器件和光电集成中具有很好的应用前景。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：602112
    • 提供者：weixin_38592611