提出了一种带有反馈系统的半导体激光正弦相位调制干涉仪.该干涉仪可以实现对微小振动的高精度实时测量.通过一个简单的信号处理系统对干涉信号进行分析,获得实际振动的振幅和频率.由于引入反馈系统,减低了测量误差,排除了环境噪声的影响.给出了具体的理论分析和实验结果.