张海鹏，秦会斌，徐振宇，梁海珊（杭州电子工业学院电子信息学院CAE研究所，浙江 杭州 310037）摘要：基于双π型电磁干扰滤波器（EMIF）的电路结构，借鉴了集成电路超微细加工技术，提出了与等平面超大规模集成电路工艺完全兼容的双π型EMIF电路的薄膜集成制造方法。该方法可用于制作满足未来电子系统的高频化、小型化、轻型化和片式化信号处理EMIF电路的应用需求，改善双π型EMIF电路的信号处理性能，还可将其与VLSI一起片上集成。 关键词：超大规模集成电路；超微细加工技术；电磁干扰滤波器；薄膜集成