数字扫描探针显微镜（scanning probe microscope，SPM）是研究纳米的重要工具，它利用探针和样品的不同互相作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出的物理性质和化学性质，它的问世对表面科学、物理学、微电子学、电子材料学、先进材料和纳米材料等研究领域技术重要的意义，与此同时，数字信号处理技术已经发展得相当成熟，DSP技术也已经广泛地应用于通信、测量、多媒体、消费电子产品等领域，由于把DSP和SPM结合在一起是SPM仪器发展的必然方向，它能使SPM性能更趋于完善，为此，本文介绍如何

数字扫描探针显微镜（scanning probe microscope，SPM）是研究纳米的重要工具，它利用探针和样品的不同互相作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出的物理性质和化学性质，它的问世对表面科学、物理学、微电子学、电子材料学、先进材料和纳米材料等研究领域技术重要的意义，与此同时，数字信号处理技术已经发展得相当成熟，DSP技术也已经广泛地应用于通信、测量、多媒体、消费电子产品等领域，由于把DSP和SPM结合在一起是SPM仪器发展的必然方向，它能使SPM性能更趋于完善，为此，本文介绍如何