微机电系统(MEMS)技术有望给各个年龄层的个人、各种产业乃至我们整个社会带来更加深远的影响。这种技术正从器件级转向器件内外部都需要新兴技术的系统级平台。 　　这两个领域的成功将实现用于智能传感和情境感知的新平台，从而使消费电子、生物医疗、工业、环境、通信、安全、运输市场以及基础设施监测和金融应用受益良多。 　　MEMS器件制造商必须应对传统业务模式偏离的局面(传统上，MEMS IC制造商为OEM制造器件，OEM将这些器件封装成最终产品)。他们必须专注于客户的具体需求、最终产品的使用环境和使