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  1. 单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

  2. 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种单电容传感器和差分电容传感器。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-19
    • 文件大小：249856
    • 提供者：weixin_38648968

  1. 传感技术中的单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

  2. 电容式传感器工作原理 　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 　　 　　图1 单电容式和差分电容式传感器 　　(a) 单电容传感器 　　(b) 差分电容传感器 　　图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时： 　　电容器的电容量为：　 　　 　　式中A为电容器的极板面积，d为极板的距离，er、e0为介电常数。 　　电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-18
    • 文件大小：177152
    • 提供者：weixin_38556541

  1. 单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

  2. 电容式传感器工作原理 　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 　　 　　图1 单电容式和差分电容式传感器 　　(a) 单电容传感器 　　(b) 差分电容传感器 　　图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时： 　　电容器的电容量为：　 　　 　　式中A为电容器的极板面积，d为极板的距离，er、e0为介电常数。 　　电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-01-19
    • 文件大小：176128
    • 提供者：weixin_38630463