提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置，实现干涉仪偏振态的超前调整，补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。构建干涉仪非线性误差在线检测装置进行实验研究。结果表明，通过被动补偿方法集成的干涉仪输出信号的交直流抑制比大于500，非线性正交相移m减小至0.003 rad(0.15 nm)。通过连续24 h的稳定性测量实验可知，参数m变化幅度在0.024 rad(1.21 nm)内，极大地抑制了干涉仪的非线性误

提出了单频激光干涉仪中偏振分光棱镜（PBS）误差的在线补偿方法。研究了入射条件对PBS偏振特性的影响，定量给出了斜入射时PBS的琼斯矩阵；研究了PBS的偏振误差对单频激光干涉仪的影响，通过对光源输入光偏振态和PBS入射角度的调制，实现了PBS误差的在线补偿，提升了干涉信号的对比度，抑制了单频激光干涉仪的非线性误差。研究表明，该方法可以有效补偿PBS的偏振误差，改善干涉信号质量，提高干涉仪的测量分辨率，可被广泛应用于纳米高精度激光干涉仪的研究与制备等领域。