压电致动器的主要缺陷是其开环控制精度受到磁滞的严重限制。 本文提出了一种新颖的数学模型来精确描述磁滞现象。 基于磁滞模型，提出了一种减少磁滞的自适应逆控制方法。 通过使用最小均方（LMS）算法识别主磁滞回线的权重。 提出了用于压电致动器线性化的反向前馈控制器的实现。 在由压电致动器驱动的微定位系统上进行了实验。 实验结果表明，与没有任何补偿的常规开环控制相比，开环操作的定位精度有了显着提高。