提出了一种高精度的对准偏差算法─—双池算法。根据这种算法,将暗场对准系统中扫描采集的光电对准信号,通过求出整个扫描曲线的对称点以代替传统的极值点或阈值点,使重复对准精度达0.11 μm(3σ)。文中对双池算法的原理、特点及数学表达式进行了详细的论述,并给出了实验结果。