提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统，该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位，其轴向台阶高度测量范围在5 μm以上。同时采用相位测量技术，实现了对半波长的3600细分，从而使测量分辨率达到0.1 nm。由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求。实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下1 h内的漂移不超过15 nm，与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在0.9999以上，非线性误差约10 nm。

台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数。基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据。该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI-Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米。实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20 μm高台阶的测量,对