在Ar和O2气氛下采用直流反应溅射制备了NiOx薄膜，利用X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱技术（XPS）对薄膜的晶体结构、Ni离子在不同化学态的结合能进行了表征。NiOx薄膜的扫描电子显微镜（SEM）照片表明薄膜有较好的晶体结构，晶粒尺寸为10 nm左右。NiOx薄膜中Ni元素是Ni2+和Ni3+混合价态，薄膜颜色为淡棕色，NiOx表现出阳极电致变色特征，其电致变色的行为是由于Li+和OH-在NiOx薄膜中的注入和拉出引起的Ni2+和Ni3+发生转化所致。通过电致变色动态测试对样品的电致变