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  1. 反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究

  2. 本文报道以无透镜傅里叶全息术变换记录的全息光栅作掩膜,应用反应离子束入射角控制光栅闪耀角,选择了合适刻蚀工艺参数,制得衍射效率为67%的SiO2全息闪耀光栅。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：5242880
    • 提供者：weixin_38673924