在空间光通信中，光学系统起着非常重要的作用，光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术。对532、808、1064、1550 nm激光工作的4个波段，选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料，借助于膜系设计软件，采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜。镀膜后的基片在808 nm处的透射率大于90%，532、1064、1550 nm处的反射率均大于99%。重点解决了808 nm透射区半波孔的问题，通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值。经过