本课题目的是研究增强型器件的频率和功率性能,对槽栅增强型器 件进行了深入的研究。分析了漂移扩散传输模型、载流子迁移率模型、产生复 合模型、碰撞电离模型等基本物理模型以及基本工作原理结合器件 模型和材料模型,利用器件仿真软件对耗尽型器件进行了仿真,通过 二维仿真,分析了不同结构参数对器件的影响,仿真得出层掺杂、势垒层 组分以及肖特基势垒高度对器件特性的影响。从仿真结果可以知道增大 层掺杂掺杂浓度、提高势垒层组分的比例和降低肖特基势垒高度可以增大沟道 电子浓度,使得输出的饱和电流增大,同时闭值电压。