准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在高重复频率下长寿命运行。设计了无闸流管的固体开关小能量准分子激光器,其核心技术是基于SSPPM的应用,并采用金属-陶瓷结构腔体和电晕预电离以延长气体工作寿命。电极放电电压10-14 kV,电压上升时间约150 ns,抽运功率密度3.9-7.6 MW/cm3。ArF运转时,获得最大单脉冲能量11 mJ
