利用爬山 模拟退火混合优化算法,对圆对称衍射光学束匀滑器件进行了精细化设计。对比选取不同的焦面采样间隔进行的束匀滑器件的设计结果,发现其采样间隔严重影响设计结果的真实性,设计计算中仅仅满足采样定理是不够的。为了获得真实的束匀滑分布,采样间隔必须小于/等于0.5倍传统采样间隔,只有这样才能同时控制住焦面采样点和其他非采样点处的光强分布,使其满足束匀滑分布。