对用于光栅优化设计初值估计的简化模式法(SMM)进行了修正。考虑介质光栅的反射对透射率的影响，从多层膜等效的角度结合模式理论，推导出介质光栅的透射效率公式，实现了对SMM的修正。计算结果表明，与SMM相比，修正后的方法与严格耦合波（RCWA）的计算偏差大大缩小，TE和TM波都小于2%。因此相对于只能提供设计参数优化初值的SMM，该方法可对光栅参数进行优化；与RCWA相比，该方法将透射光栅的衍射效率表达成模式的相位差偏移和光栅与空气导纳之差引起的反射，更直观地展示了光栅衍射的物理过程。基于此修正的