为提高消光椭偏测量技术的测量精度,提出了一种基于光弹调制的消光椭偏测量技术。将光弹调制器和两块λ/4波片组合构成旋光调制器,对相关方位角进行调制。通过测量基频分量消光时的起偏器和检偏器的方位角,完成对椭偏参量的测量。与传统消光椭偏测量技术相比,该技术消除了背景噪声和环境干扰等对测量结果的影响。利用琼斯矩阵分析了该椭偏测量技术的原理,最后利用ZnS薄膜验证了基于光弹调制的消光椭偏测量技术的可行性。