给出了一种基于光电信号来作为四路高压脉冲源触发控制的设计原理和方法，采用光电信号作为前级控制触发脉冲，驱动后级高压半导体开关器件（IGBT）输出高压脉冲信号。设计了一台脉冲幅度为500 V～1 kV、脉冲宽度大于500 ns、脉冲前沿小于25 ns以及各通道之间输出的高压脉冲信号分散性小于10 ns的四路高压脉冲源。通过实验结果验证了所采用的设计原理及方法的可行性，给出了单次触发情况下四路高压脉冲输出的实验结果。