静电探针又称langrnuir探针，是一种用来进行等离子体参数测量的基本的诊断工具，通过静电探针的，I-V特性曲线可以计算出等离子体的电子温度、密度、空间电位和悬浮电位等重要参数。静电探针，I-V特性曲线如图1所示。目前，随着等离子体在对金属、微电子、聚合物改性，聚合、生物功能材料相容性处理，低温杀毒以及空间技术等诸多领域的广泛应用。开展静电探针自动测量技术的研究开发工作，对提高等离子体应用研究工作的效率具有一定的促进作用。本文介绍的自动测量系统是以单片机为核心，采用A/D和D/A技术，能够快速