基于双路比值条纹计数法的法布里珀罗 腔位移传感器

为了解决普通条纹计数法在余弦信号极大/极小值位置难于判向的问题，提出一种基于双法布里-珀罗(F-P)干涉仪的比值条纹计数法。利用正切信号在相位为π/2整数倍时发生跳变的特点，取两路正交余弦干涉信号的比值（即为正切信号），再通过对跳变脉冲计数，在测量相位差大小的同时，实现了对相位变化方向的判定。本方法对传感器两光路之间的初始相位差无严格要求，安装调试简单。实验结果表明，以位移传感为例，系统在0~1 mm的测量范围内，线性相关系数达到0.9999，线性度为0.306%，误差限值为±3 μm。