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  1. 基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置

  2. 提出一种高精度直线度基准装置，它以激光波长作为测量基准，采用双频激光干涉技术和直尺反转误差分离技术，在一般实验室条件下实现了优于0.1μm/m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国防校准实验室。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：122880
    • 提供者：weixin_38552292