提出了一种利用载频电子散斑干涉测量三维位移场的新技术。首先，设计了一种新型的大错位方棱镜，利用该方棱镜可实现大错位电子散斑干涉。其次，被测物和参考物由布置在水平和竖直位置上的3个激光光源分别照明，三维电子散斑干涉系统由3个激光器、大错位方棱镜、CCD和参考物面组成。参考物面的一次偏转可同时引入3个干涉场的载波条纹。分别采集3个激光器照明下物体形变前后及参考物面偏转后的散斑干涉图样，图像相减后得到不同照明条件下的载波条纹和受形变调制的载波条纹。结合傅里叶变换方法，可解调出形变场的相位，进一步计算得