基于微流控技术提出了一种新型可调光衰减器核心芯片结构，利用微流体和可压缩空气实现光衰减的可控调节，并基于此核心芯片设计了两种应用不同驱动技术的微流控光衰减器。通过高斯光束传播理论、亥姆霍兹方程、光场耦合理论与Mathematics软件分析了光衰减器内部光场分布特性，考虑了流体端面衍射影响，给出了流体端面位置与衰减量的关系及响应时间等性能参数。理论表明基于微流控技术的可调光衰减器衰减范围大于50 dB，系统响应时间约为0.01 s，具有衰减范围大、响应快、插入损耗小、回波损耗大的优点。所提出的光衰