AFM扫描图像可被认为是探针针尖的形貌和扫描样品表面形貌的数学形态学卷积结果,需要用反卷积的方法排除扫描图像中探针形貌引起的失真影响。本文在已有基于数学形态学的探针盲建模算法基础上,提出了一种可快速实现特征点优化提取的方法,同时提出了一种可降低最优降噪阈值估计复杂性的基于临界阈值搜索新方法。最后给出了仿真与CNT扫描图像的重构实验结果。实验表明,本文介绍的方法提高了探针建模的计算速度和建模精度,可以对AFM成像质量进行有效的失真修正和改善。

原子力显微镜技术已在纳米成像中得到了普遍应用。但实验表明，AFM图像在水平方向分辨率较低，其中探针针尖形貌是影响扫描图像分辨率的关键因素之一。为了提高AFM扫描图像的分辨率，改善成像质量，一种可行的方法是通过建立探针模型后，重构扫描图像。在已有的探针建模方法中，普遍采用盲建模算法。针对目前盲建模算法中降噪阈值难以优化问题，提出了一种降噪阈值最优估计新方法。该方法可以使盲建模算法更准确地建立扫描方向上的探针形貌轮廓，进而完成3D探针模型。通过应用AFM探针扫描多空铝和标准栅格实验，介绍了探针针尖形