提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法，该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响，但是包含测量误差，精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量，但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外，针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变，提出了相邻像素点差分分析方法，有效消除了局部相位突变，从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算