提出一种由石英和硅纳米束构成的周期性超表面结构。利用相位分布呈周期性梯度变化的特点,可实现垂直入射光的特定角度偏转,偏转角度可通过改变硅纳米束宽度和周期进行调节。仿真结果表明,当偏转角度在±45°范围内,偏转效率超过60%,远场发散角为3°左右。所提结构简单,结合可调激光器、波分复用器组成光束扫描装置并通过改变波长可实现光束角度扫描。所提结构可应用于大角度范围的固态光束扫描。