在基于脉冲计数的外差干涉信号处理中，提出了一种零相位差跳变补偿的大小数相位结合处理方法，可实现外差干涉信号处理中大小数的准确结合。大数测量采用对两路干涉信号进行脉冲计数同步对减的方法实现，小数测量采用混频降频方法来提高测量分辨率，并采用锁相环对拍频信号跟踪产生用于混频降频的动态基准信号，解决外差信号拍频变化的问题，以提高小数测量分辨率的稳定性。基于信号发生器对实现的外差干涉信号处理方法进行了验证，包括测量精度、大数计数、小数相位测量。构建了双通外差干涉位移测量光路，通过对精密导轨位移的测量来验证