利用反向波振荡器对基于硅多腔谐振系统的高质量三通道太赫兹滤波器进行了实验研究。已经采用了理论方法来分析共振的物理起源和传输特性。我们发现较低的传输峰来自侧面两个厚腔中的Fabry-Perot共振，而两个较高的峰是由中间两个薄腔的对称和非对称耦合引起的。共振峰通过增加入射角而显示蓝移，这归因于有效折射率的变化。