为实现对电力系统中设备内SF6气体泄漏监测，采用超声技术对其进行探测。通过微量气体浓度理论模型寻找出浓度与声速的相关特性，进一步建立单通道超声传感器检测模型，采用DFT数字相位计测相位差法求取声速，进而计算出SF6气体浓度。在研制的超声测量系统上进行SF6标准气体检测试验，该实验在设计的气体标定装置上进行，保证测量结果的可靠性。实验结果表明了该方法测量SF6气体泄漏的可行性，其精度可达水平，平均相对误差5%左右。