近红外微光谱仪（NIRMS）作为各种元素的重要检测设备已得到研究 在过去几年间。 传统的MEMS NIRMS使用CCD阵列检测器来收集NIR光谱， 导致更高的制造成本。 在本文中，为了确保更高的衍射效率以及更低的制造成本， 提出了一种基于MEMS扫描微镜的新型闪耀光栅。 根据我们的设计方法，NIRMS 仅需一个InGaAs检测器光电二极管即可收集NIR光谱并确保高衍射效率。 我们的结果表明，闪耀光栅的衍射效率接近50％，峰值在90％时达到90％。 在900-2,100 nm的范围内，而