太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术作为一种快速发展的新型光谱分析方法在诸多领域备受关注。目前传统THz-TDS 检测时间慢，数据采集量低。为了提高THz-TDS 检测速度与精度，根据等效采样原理，设计了一种基于闭环控制的快速THz-TDS 数据采集系统。该系统可进行快速连续扫描采集，步进扫描时通过光学延迟线的信号反馈来实时获取其位置信息，完成自动化快速扫描。通过每步连续采集多个数据点来提高单步采集的准确性。结果表明，该系统充分利用了光学延迟线的硬件性能，可实现最高500 kHz 的数据采集，步