针对传统激光功率计体积庞大、响应速度慢且检测精度难以保证的缺陷，提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该测试方法利用激光的热效应，以CO2激光器为被测激光光源，黑硅MEMS热电堆探测器为激光探测传感器。根据能量转换原理，热电堆吸收激光辐射的能量转换为自身热力学能，热力学能以电压的形式输入CMOS接口电路。通过TopView2000通用虚拟仪器应用软件采集和处理数据，获得激光功率相关数据。在室温条件下，对MEMS热电堆激光功率检测系统在不同占空比和不同出光时间的CO2激光照射下