提出了一种宽带8-12 GHz串联式微波功率传感器，该传感器基于通过微机电系统膜测量从共面波导线耦合的微波功率。 在这种方法中，信号在功率检测期间可用。 为了获得低的反射损耗和插入损耗，以及功率传感器的宽带响应，提出了一种阻抗匹配结构和补偿电容。 功率传感器的制造与GaAs单片微波集成电路（MMIC）Craft.io兼容。 实验结果表明，该传感器在12 GHz以下的反射损耗优于20 dB，插入损耗小于0.45 dB。 在10 GHz频率下可获得超过30μV/ mW的灵敏度和0.2 mW的分辨率。