高频表面声波（SAW）技术为无源无线传感和通信中的航空航天应用提供了许多机会。 本文介绍了基于128°YX LiNbO3衬底的L波段声表面波谐振器的设计，仿真，制造和测试。 利用有限元（FEM）方法和模式耦合（COM）理论对声表面波谐振器的设计参数进行了优化。 电子束光刻（EBL）技术用于制造叉指式换能器（IDT）和光栅反射器的亚微米级。 讨论了一些关键的EBLCraft.io（例如，电子束抗蚀剂的使用，金属沉积方法的选择，电荷积累效应和邻近效应）对SAW器件制造精度的影响。 实验上，使用改进的