免标记、实时、高灵敏的生物检测是分析生物领域重要的技术。利用光波导模式理论构建生物传感器模型，设计了基于MEMS微镜的小型化生物传感检测系统，测试并分析了MEMS微镜的动态响应特性。通过计算仿真，得到了灵敏度与波导厚度和有效折射率之间的关系。以TE 模式和TM 模式进行葡萄糖溶液检测，实验结果表明，溶液浓度与入射角间呈现出良好的线性关系，灵敏度可达到5 ng/mL，相比传统的免疫学检测方法具有较高灵敏度。该方法由于检测系统体积小、结构简单、无标记，可实现原位检测，避免了对蛋白质活性的破坏，是一种