本文拟采用德国ACAM公司的通用电容检测芯片PS021芯片进行微小电容测量电路的设计。该芯片把电容测量转化为精确的时间测量，内部算法可以很好地抑制寄生电容对测量结果的影响，芯片集成的温度补偿模块还能保证很好的稳定性，在10 Hz刷新频率时能够达到6 aF的有效精度，最高刷新频率可达50 kHz，高精度高刷新率可缓和测量速度和分辨力的矛盾。