为了正确反映基于光电位置敏感器（PSD）的微位移传感器的特性，首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理，得出基于PSD的微位移传感器被测试件位移量与相关测量电路输出电压（S，V）关系特征，然后基于最小二乘估计算法基本原理， 提出了运用MATLAB语言建立PSD的微位移传感器（S，V）关系特征的数学模型的方法， 给出了建模的程序流程图以及仿真结果。