提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算，使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分子光源光斑的尺寸约为16.5 mm×35.4 mm，光束在x方向的发散角度约为3.3 mrad，在y方向的发散角度约为11.5 mrad。使用该方法所模拟的光源的光斑尺寸约为16.7 mm×35.3 mm，光束在x方向的发散角度约为3.41 mrad，在y方向的发散角度约为11.53 mrad，光能