针对基于声表面波技术的射频识别系统工作原理，提出利用COMSOL软件进行ZnO单晶材料射频波标签特性研究，进行多物理域耦合建模与仿真。提取出符合声表面波特性的模态图，得到正特征频率和反特征频率分别为268 MHz和275 MHz。通过对特征频率的仿真分析，计算ZnO单晶的相速度达到2 715 m/s；通过频率响应分析，画出标签位移与频率之间的关系图，获得了标签的幅频特性；最后讨论脉冲幅度编码对回波脉冲的影响。