本工作旨在通过横向旋转阴极沉积的TiAlZrN / Al2O3和TiAlZrN / Si3N4涂层的微观结构表征。 使用横向旋转阴极（LARC）技术沉积涂层。 使用扫描电子显微镜研究沉积的涂层的横截面形态。 沿横截面也进行了能量分散光谱测定，以确定元素组成。 进行显微维氏硬度测试以确定涂层的硬度。 扫描电子显微镜图像显示，TiAlZrN / Al2O3涂层表现出较好的柱状晶粒取向，具有多​​层结构，而TiAlZrN / Si3N4涂层表现出致密的晶粒结构。 TiAlZrN / Si3N4涂层的硬