针对激光会聚铬原子沉积实验，运用标量衍射理论，通过数值模拟研究了基片衍射对会聚激光驻波场中原子波包几率密度演化的影响。结果显示基片衍射的影响会随激光中轴线与基片沉积表面距离b0的变化而变化。相对于非衍射情况，衍射效应会提高激光驻波场中会聚平面内原子波包几率密度分布的中心值，同时减小其半峰全宽。当参量b0=－0.2w0(w0为高斯光束的束腰半径)时，原子波包几率密度的会聚平面和基片沉积表面完全重合。此处，衍射时原子波包几率密度分布的中心值为1.26，其半峰全宽为5.62 nm，两者分别为非衍射时的